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1,为什么要进行CV测量? MOSCAP结构已经在无尘室里被制造出来,对于任何一个器件来说,人们要想正确、有效地使用它的话,就必须对它的性质有充足的了解。依据CV测量,人们可以尽可能多的了解一个半导体器件的相关性质。 2,决定MOSCAP结构性质的一些重要参数 (1)电容Cox 条件:dox 大于5 nm;器件工作在累积区
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